要求（專利）號(hào)：CN200610163271.4要求日：2006.12.18
揭露（布告）號(hào)：CN101169349揭露（布告）日：2008.04.30
主分類號(hào)：G01M11/00(2006.01)I范疇分類：
分類號(hào)：G01M11/00(2006.01)I；G01M11/02(2006.01)I
要求（專利權(quán)）人：中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精細(xì)機(jī)械與物理研究所
地址：130031吉林省長(zhǎng)春市東南湖大道16號(hào)
國(guó)省代碼：吉林；22
創(chuàng)造（規(guī)劃）人：鞏巖
專利署理組織：長(zhǎng)春菁華專利商標(biāo)署理事務(wù)所
署理人：南小平
★ 摘要
   本創(chuàng)造歸于短波段成像光學(xué)范疇，詳細(xì)的說(shuō)是一種極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)驗(yàn)設(shè)備。在本創(chuàng)造中規(guī)劃了如圖所表明的檢查設(shè)備，全部光學(xué)系統(tǒng)均處于真空條件下，極紫外光源1宣布極紫外光束通過(guò)精細(xì)描寫的金屬柵網(wǎng)7后，打到反射鏡3和4，最終通過(guò)待測(cè)極紫外成像光學(xué)系統(tǒng)5在極紫外相機(jī)6上成像，金屬柵網(wǎng)的網(wǎng)格標(biāo)準(zhǔn)與所成的像進(jìn)行對(duì)比，通過(guò)核算即可得到待測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)。本創(chuàng)造的有利作用為：供給了一種構(gòu)造簡(jiǎn)略、功能牢靠可以對(duì)極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量進(jìn)行測(cè)驗(yàn)的設(shè)備。
★ 主權(quán)項(xiàng)
    一種6nm-100nm波段極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)驗(yàn)設(shè)備，光源(1)發(fā)生的平行光通過(guò)辨別率板(2)后經(jīng)反射鏡(3)和(4)，最終通過(guò)待檢成像系統(tǒng)(5)在探測(cè)器(6)上成像，依據(jù)所成印象中辨別率板的線對(duì)的明晰程度，通過(guò)核算既可得到待檢成像光學(xué)系統(tǒng)的分辨率數(shù)據(jù)，其特征是：所述辨別率板(2)是精細(xì)描寫的金屬柵網(wǎng)(7)。